應(yīng)用范圍：
● 龍門雙驅(qū)直線電機(jī)送料，速度可達(dá)2m/s，重復(fù)定位精度達(dá)1um；
● 龍門雙驅(qū)雙伺服張力虛軸控制，張力波動(dòng)±1N(30N)；
● 主動(dòng)收放卷PID控制及高精度卷徑計(jì)算，料卷卷徑精度0.1mm；
● 雙X-Y切割及疊層對(duì)位調(diào)整，調(diào)整范圍±5mm，精度±1um；
● CCD在線疊層錯(cuò)位精度檢測(cè)，檢測(cè)精度3.45um；
● 油壓系統(tǒng)采用全閉環(huán)磁柵尺控制，壓力精度±0.5噸(80噸)；
● 上下料全自動(dòng)真空吸附，為避免Bar塊運(yùn)輸中受損，采用非接觸式吸附。
設(shè)備關(guān)鍵參數(shù)：
| 疊層精度 | +/-8.5um |
| 電極最小膜厚 | 0.8um |
| Bar塊尺寸 | 310(W)*310(L)*Max10(H)mm |
| 疊層效率 | 3.5s/PCS(機(jī)械周期) |
| 疊層最大層數(shù) | 1000層 |
| 溫度控制 | 40~80℃（±0.5℃） |
| 油壓壓力 | 最大 80Ton(±0.5噸) |
| CCD在線錯(cuò)位檢測(cè)精度 | 3.45um |
電氣規(guī)格:
| 能量功耗 | 35KW |
| 工作電壓 | 380VAC 50Hz |
| 控制界面 | 觸摸屏 |
| 控制方式 | PLC |
機(jī)械規(guī)格：
| 設(shè)備尺寸 | 2330(W)*4420(L)*2400(H)mm |
| 開門尺寸 | 820(W)*1670(H)mm |
| 凈重 | 約7800kg |
| 毛重 | 約8000kg |
| 氣源壓力 | 0.5~0.8MPa，200L/分鐘 |
